Pompa próżniowa odnosi się do urządzenia lub sprzętu, który wykorzystuje mechaniczną, fizyczną, chemiczną lub fizyko-chemiczną metodę do ewakuacji napompowanego pojemnika w celu uzyskania próżni. Mówiąc ogólnie, pompa próżniowa to urządzenie, które wykorzystuje różne metody w celu poprawy, generowania i utrzymywania próżni w zamkniętej przestrzeni.
Zgodnie z zasadą działania pomp próżniowych, pompy próżniowe można zasadniczo podzielić na dwa typy, mianowicie pompy do wychwytywania gazu i pompy do przesyłu gazu. Są szeroko stosowane w metalurgii, przemyśle chemicznym, spożywczym, powlekaniu elektronicznym i innych gałęziach przemysłu.
Dwa wirniki pompy próżniowej są względnie zsynchronizowane za pomocą pary kół zębatych o wysokiej precyzji. Wał napędowy jest połączony z silnikiem za pomocą sprzęgła. Istnieją dwa główne typy układów struktury napędowej: jeden polega na tym, że silnik i koło zębate są umieszczone po tej samej stronie wirnika, jak pokazano na rysunku. Napędzany wirnik jest bezpośrednio napędzany przez koło zębate na końcu silnika. W ten sposób odkształcenie skrętne wału wirnika napędowego jest niewielkie, a szczelina między dwoma wirnikami nie zmieni się z powodu dużego odkształcenia skrętnego wału napędowego, więc szczelina między wirnikami działa. Proces jest równomierny. Największe wady tej metody transmisji to: a. Na wale napędowym znajdują się trzy łożyska, co zwiększa trudności w przetwarzaniu i montażu pompy, a demontaż i regulacja koła zębatego są niewygodne; b. Ogólna struktura jest nierówna, a środek ciężkości pompy jest przesunięty w stronę silnika i skrzyni biegów.
(1) Duża prędkość pompowania w szerokim zakresie ciśnień;
(2) Wirnik ma dobrą symetrię geometryczną, więc drgania są niewielkie, a praca stabilna. Pomiędzy wirnikami i między wirnikiem a obudową jest szczelina. Nie jest wymagane smarowanie, a strata tarcia jest niewielka. Moc napędową można znacznie zmniejszyć, dzięki czemu można osiągnąć większą prędkość.
(3) Nie ma potrzeby uszczelniania i smarowania olejem wnęki pompy, co może ograniczyć zanieczyszczenie układu próżniowego oparami oleju;
(4) W komorze pompy nie występuje kompresja, a zawór wydechowy nie występuje. Prosta i zwarta konstrukcja, niewrażliwa na pył i parę wodną w pompowanym gazie;
(5) Sprężanie jest stosunkowo niskie, a efekt pompowania wodoru jest słaby;
(6) Powierzchnia wirnika jest bardziej złożoną, zakrzywioną powierzchnią cylindryczną, trudną do obróbki i kontroli.